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日前，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）实施管理办公室和总体组在北京对西安理工大学刘丁教授主持完成的“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”项目组织任务验收和财务验收。专家组审查了验证报告、现场测试报告，经质询和讨论，一致同意项目通过验收。该项目总评得分位列所有验收项目前列。

该项目任务是针对65nm线宽集成电路用300mm 硅单晶炉制造技术进行攻关，实现单晶炉在晶体制备过程中的缺陷及杂质控制、氧含量及其均匀性控制，设计开发相应热场及大型勾型磁场。

该校自2009年1月实施国家科技重大专项“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”项目以来，围绕极大规模集成电路用单晶炉的关键技术进行攻关，凝聚自动控制、电子信息、检测及传感、机械、材料等多学科交叉的科研人才，在国外技术封锁，国内相关技术匮乏的情况下，历经20个月，研发团队从自主设计、单元测试、整机制造、系统调试和拉晶实验，于2010年9月5日在自主研制的300mm硅单晶炉中成功拉制出300mm无位错硅单晶棒。2013年10月19日通过了02专项办组织的内部验收。2014年8月19日，项目研制的新一代大尺寸电子级硅单晶炉，成功拉制出了直径400mm（16英寸）无位错硅单晶棒，实现了在磁场环境下更大直径电子级硅单晶生长关键技术的重大突破。此设备的研发和完整工艺均属国内首创。这项技术的取得，标志着该校保持了在大尺寸电子级硅单晶炉关键技术的国内领先地位，其所研制的新一代大尺寸电子级硅单晶炉及核心工艺同时也将为服务我省集成电路集群产业的发展需求，实现关键材料的产业化具有重要的现实意义。

截至目前，结合承担国家科技重大专项项目，研发团队掌握了一批电子级单晶炉研制的关键共性技术并获得多项重要成果，授权美国发明专利2件，授权中国发明专利14件，授权实用新型专利9件，完成新产品1项，起草一部行业标准《MCZ系列直拉法单晶炉》，发表SCI论文20篇，EI论文53篇,专著1部，培养博士、硕士研究生33名，建成了300mm单晶生长设备参数测试平台及检测验证平台，所获成果2012年获得国家技术发明二等奖，所研制的电子级单晶炉出口到韩国LG、台湾等国际知名厂商，圆满完成项目合同目标任务。

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